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電子級水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（GB/T 11446.1-2013）

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電子級水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)（GB/T 11446.1-2013）

GB/T 11446.1-2013《電子級水》規(guī)定了電子級水的級別、技術(shù)指標(biāo)要求、試驗方法和檢驗規(guī)則，適用于電子和半導(dǎo)體工業(yè)用高純清洗用水。電子級水分為四個級別：Ⅰ 級、Ⅱ 級、Ⅲ 級、Ⅳ 級。以下是各級別的技術(shù)指標(biāo)要求：

項目 技術(shù)指標(biāo)
EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ
電阻率（25℃）/MΩ·cm ≥18 ≥15 ≥12 ≥0.5
（5%時間不低于17） （5%時間不低于13）    
全硅/（μg/L） ≤2 ≤10 ≤50 ≤1000
微粒數(shù)/（個/L） 0.05μm~0.1μm 500 - - -
0.1μm~0.2μm 300 - - -
0.2μm~0.3μm 50 - - -
0.3μm~0.5μm 20 - - -
＞0.5μm 4 - - -
細(xì)菌個數(shù)/（個/mL） ≤0.01 ≤0.1 ≤10 ≤100
銅/（μg/L） ≤0.2 ≤1 ≤2 ≤500
鋅/（μg/L） ≤0.2 ≤1 ≤5 ≤500
鎳/（μg/L） ≤0.1 ≤1 ≤2 ≤500
鈉/（μg/L） ≤0.5 ≤2 ≤5 ≤1000
鉀/（μg/L） ≤0.5 ≤2 ≤5 ≤500
鐵/（μg/L） ≤0.1 - - -
鉛/（μg/L） ≤0.1 - - -
氟/（μg/L） ≤1 - - -
氯/（μg/L） ≤1 ≤1 ≤10 ≤1000
亞硝酸根/（μg/L） ≤1 - - -
溴/（μg/L） ≤1 - - -
硝酸根/（μg/L） ≤1 ≤1 ≤5 ≤500
磷酸根/（μg/L） ≤1 ≤1 ≤5 ≤500
硫酸根/（μg/L） ≤1 ≤1 ≤5 ≤500
總有機碳/（μg/L） ≤20 ≤100 ≤200 ≤1000

 

 

 

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